Главная/ Оборудование/ Оборудование для производства микроэлектроники/ Термические процессы/ Вакуумные печи оплавления серии VSS
Оборудование для производства микроэлектроники · Термические процессы

Вакуумные печи оплавления серии VSS

Высокотемпературная вакуумная печь с увеличенным размером рабочей камеры до 300х300 мм при температуре до +650 °С.

  • Групповое оплавление, инертная среда, герметизация
  • Flipchip, IGBT, пайка кристаллов
  • Вжигание резистивных паст, быстрые термические процессы
  • Смотровое окно для подключения оптического оборудования контроля

Серия VSS представляет собой высокотемпературную вакуумную печь с увеличенным размером рабочей камеры, позволяющую производить обработку изделий размером до 300х300 мм при температуре до +650 °С. Смотровое окно позволяет подключать дополнительное оптическое оборудование для контроля и отслеживания процесса.

МодельVSS-450-300
Размер рабочей камеры350x350х65 мм (опционально высота до 120 мм)
Материал камерыалюминий
Тип нагрева2х12 ИК-ламп сверху и снизу, 3 программируемые зоны
Максимальная температура+650 °С (до +1000 °С опционально)
Точность поддержания температурыменее 1%
Уровень вакуумадо 3×10⁻³ мбар (до 10⁻⁸ мбар опционально)
Скорость нагрева/охлаждениянагрев >150 К/мин; охлаждение 450→200 °C: 90 К/мин, 200→100 °C: 60 К/мин
Контроллерсенсорный Simatic 7" с поворотом, 50 программ по 50 сегментов
Рабочие газывоздух, азот, кислород, водород, форминг-газ, муравьиная кислота
Габаритные размеры505x690x830 мм
Вес110 кг
Электропитание380 В, 50 Гц, 18 кВт
Охлаждениевода
Смотрите также

Похожее оборудование

Все модели раздела →

Хотите рассчитать стоимость с доставкой?

Пришлём коммерческое предложение с ценой, сроком поставки и вариантами оснастки.

Контакты

Свяжитесь с нами

Адрес

305010, г. Курск, ул. Чапаева, д. 22А

Телефон

+7 (499) 653-80-83

Режим работы

Пн–Пт: 9:00–18:00

Оставить заявку

Ответим на вопросы по подбору и наличию оборудования в течение рабочего дня.