Главная/ Оборудование/ Оборудование для производства микроэлектроники/ Термические процессы/ Вакуумные печи оплавления серии RTP
Оборудование для производства микроэлектроники · Термические процессы

Вакуумные печи оплавления серии RTP

Продолжение линейки высокотемпературного оборудования UniTemp для быстрых высокотемпературных процессов — вжигание, low-k диэлектрики, обработка солнечных панелей.

  • Вжигание, включая контакты на пластинах
  • Сплавы SiAu, SiAl, SiMo
  • Low-k диэлектрики, постимплантационное вжигание
  • Вжигание медных и резистивных паст, кристаллизация
  • Обработка солнечных панелей

Серия печей RTP является продолжением линейки высокотемпературного оборудования UniTemp и предоставляет возможность выполнения быстрых высокотемпературных процессов.

Модель RTP-100 / RTP-100-HV — размер камеры134х169х18 мм (макс. диаметр пластин 100 мм)
Модель RTP-150 / RTP-150-HV / RTP-150-EP — размер камеры156х156х40 мм (макс. диаметр пластин 150 мм)
Материал камерыкварц
Тип нагрева18–24 ИК-лампы (в зависимости от модели)
Максимальная температураRTP-100: +1200 °С · RTP-150: +1000 °С
Точность температурыменее 1,5%
Уровень вакуумадо 10⁻³ мбар
Скорость нагреваRTP-100: >150 К/сек · RTP-150: >75 К/сек
ИнтерфейсUSB
Электропитание380 В, 50 Гц, 20–21 кВт
Охлаждениевода
Смотрите также

Похожее оборудование

Все модели раздела →

Хотите рассчитать стоимость с доставкой?

Пришлём коммерческое предложение с ценой, сроком поставки и вариантами оснастки.

Контакты

Свяжитесь с нами

Адрес

305010, г. Курск, ул. Чапаева, д. 22А

Телефон

+7 (499) 653-80-83

Режим работы

Пн–Пт: 9:00–18:00

Оставить заявку

Ответим на вопросы по подбору и наличию оборудования в течение рабочего дня.