Главная/ Оборудование/ Оборудование для производства микроэлектроники/ Термические процессы/ Установки быстрого термического отжига пластин и подложек HTAO500
Оборудование для производства микроэлектроники · Термические процессы

Установки быстрого термического отжига пластин и подложек HTAO500

Настольное оборудование для вжигания металлизации, отжига LED-пластин, спекания металлических слоёв, Low-K материалов и производства солнечных элементов.

  • Высокие скорости нагрева и охлаждения
  • Максимальная температура +1300 °С
  • Нагрев ИК-лампами (13 шт., 1,25 кВт каждая)
  • ПК-контроль и ПО в комплекте

Настольное оборудование для полупроводниковой промышленности, предназначенное для вжигания металлизации, отжига LED-пластин, спекания металлических слоёв, Low-K материалов и производства солнечных элементов. Отличается высокими скоростями нагрева и охлаждения.

Комплектация

  • Базовый блок печи
  • Газовая линия для азота с MFC
  • ПК управления с монитором, клавиатурой, мышью
  • Вакуумная помпа
  • Система замкнутого охлаждения
  • Фитинги подключения
  • Запасная ИК-лампа
Максимальная температура+1300 °С
НагревИК-лампы, 13 шт. по 1,25 кВт
Электропитание380 В, 3 фазы, 5 проводов, 50 Гц
Охлаждениеобычная вода, 1–3 кг/см², 6–8 л/мин + подача газа
Безопасностьсигнализация превышения температуры, снижение давления воды
УправлениеПК-контроль и ПО
Гарантия12 месяцев
Смотрите также

Похожее оборудование

Все модели раздела →

Хотите рассчитать стоимость с доставкой?

Пришлём коммерческое предложение с ценой, сроком поставки и вариантами оснастки.

Контакты

Свяжитесь с нами

Адрес

305010, г. Курск, ул. Чапаева, д. 22А

Телефон

+7 (499) 653-80-83

Режим работы

Пн–Пт: 9:00–18:00

Оставить заявку

Ответим на вопросы по подбору и наличию оборудования в течение рабочего дня.