Главная/ Оборудование/ Оборудование для производства микроэлектроники/ Плазменная очистка/ Установка плазменной очистки V55-G
Оборудование для производства микроэлектроники · Плазменная очистка

Установка плазменной очистки V55-G

V55-G это универсальная система плазменной очистки, предназначенная для удаления загрязнений до операции разварки выводов проволокой при применении Flip Chip технологии.

  • Конструкционные особенности позволяют избежать эффекта экранирования
  • Массовый расходомер газов
  • Отображение важных параметров всех процессов
  • Сверхточное совмещение по верхней стороне
  • Возможность удалённого контроля
  • PLC-контроллер
  • Сдвижная дверь
  • USB–интерфейс

V55-G это универсальная система плазменной очистки, предназначенная для удаления загрязнений до операции разварки выводов проволокой при применении Flip Chip технологии.

Отличительные особенности

  • Конструкционные особенности позволяют избежать недостатков процесса плазменной очистки, связанных с «эффектом экранирования»
  • Массовый расходомер газов
  • Отображение важных параметров всех процессов
  • Сверхточное совмещение по верхней стороне
  • Возможность удалённого контроля
  • PLC-контроллер
  • Сдвижная дверь
  • USB–интерфейс

Области применения

  • Изготовление МЭМС и изделий сверхмалого размера
  • Удаление полимеров
  • Удаление жертвенных органических слоёв
  • Обработка биоактивных компаундов

Опции

  • Вакуумная помпа
  • Озоновая ловушка
  • До трех газовых линий
  • Экранированная камера
  • Вращающийся столик
  • Клапан управления давлением и т.д.
Размеры рабочей камеры400 x 460 x 340 мм
Частота генератора2,45 ГГц, 100–1200 Вт
Подача газа2 газовые магистрали с массовыми расходомерами с магнитными клапанами
Электропитание380 В, 50 Гц, 2,2 кВт
Габаритные размеры670 x 900 x 1850 мм
Смотрите также

Похожее оборудование

Все модели раздела →

Хотите рассчитать стоимость с доставкой?

Пришлём коммерческое предложение с ценой, сроком поставки и вариантами оснастки.

Контакты

Свяжитесь с нами

Адрес

305010, г. Курск, ул. Чапаева, д. 22А

Телефон

+7 (499) 653-80-83

Режим работы

Пн–Пт: 9:00–18:00

Оставить заявку

Ответим на вопросы по подбору и наличию оборудования в течение рабочего дня.