Главная/ Оборудование/ Оборудование для производства микроэлектроники/ Плазменная очистка/ Настольная установка плазменной очистки V10-G
Оборудование для производства микроэлектроники · Плазменная очистка

Настольная установка плазменной очистки V10-G

V10-G это настольная система плазменной очистки, специально разработанная для удаления фоторезиста и идеально подходящая для очистки полупроводниковых подложек и пластин.

  • Кварцевая камера
  • Сдвижная дверь
  • PLC-контроллер SPS (S7-300)
  • Резистивный сенсорный экран с операционной системой Windows
  • Автоматический и ручной режимы
  • Отображение важных параметров всех процессов
  • Гибкие настройки доступа управления установкой
  • Архивация всех процессов
  • Возможность удалённого контроля
  • Ethernet–интерфейс

V10-G это настольная система плазменной очистки, специально разработанная для удаления фоторезиста и идеально подходящая для очистки полупроводниковых подложек и пластин.

Система предназначена для научно-исследовательских лабораторий и мелкосерийного производства.

Области применения

  • Обработка полупроводниковых и других пластин и подложек перед процессом жидкостной химической обработки для улучшения смачиваемости поверхности
  • Изготовление МЭМС и изделий сверхмалого размера
  • Удаление полимеров (например, после Bosch-процессов)
  • Удаление жертвенных органических слоёв
  • Обработка биоактивных компаундов
  • Удаление фоторезиста после сухих процессов

Отличительные особенности

  • Кварцевая камера
  • Сдвижная дверь
  • PLC-контроллер SPS (S7-300)
  • Резистивный сенсорный экран с операционной системой Windows
  • Автоматический и ручной режимы
  • Отображение важных параметров всех процессов
  • Гибкие настройки доступа управления установкой
  • Архивация всех процессов
  • Возможность удалённого контроля
  • Ethernet–интерфейс

Опции

  • Вакуумная помпа
  • Озоновая ловушка
  • Вторая газовая линия
  • Вращающийся барабан для мелких компонентов
  • Ящик с полками
  • Дистанционное управление
Размеры рабочей камерыØ215 мм, глубина 260 мм
Частота генератора2,45 ГГц, 50–600 Вт
Подача газаОдна газовая магистраль с массовым расходомером с магнитным клапаном
Электропитание380 В, 50 Гц, 1,5 кВт
Габаритные размеры720х820х820 мм
Вес150 кг
Смотрите также

Похожее оборудование

Все модели раздела →

Хотите рассчитать стоимость с доставкой?

Пришлём коммерческое предложение с ценой, сроком поставки и вариантами оснастки.

Контакты

Свяжитесь с нами

Адрес

305010, г. Курск, ул. Чапаева, д. 22А

Телефон

+7 (499) 653-80-83

Режим работы

Пн–Пт: 9:00–18:00

Оставить заявку

Ответим на вопросы по подбору и наличию оборудования в течение рабочего дня.