Установки быстрого термического отжига пластин и подложек

: 09.06.26

ООО «Термо-Решения» представляет вниманию наших Заказчиков и партнеров новинку в линейке нашей продукции, а именно – печи быстрого термического отжига пластин и подложек производства компании BeijingEastStar, Китай.

Печи серии HTAO ориентированы на замену аналогичным моделям недоступных сегодня брендов, таких как UniTemp, ATV, Annealsys и другим. Базовой моделью компании является установка HTAO500, параметры которой приведены ниже.

HTAO500 это настольная установка быстрого термического отжига для использования в полупроводниковой промышленности, в частности это вжигание металлизации, отжиг LED пластин, спекание металлических слоев, Low-K, производство солнечных элементов. Печка выгодно отличается высокими скоростями нагрева и охлаждения, что является важным параметром при выборе подобных установок.

Технические характеристики:

Максимальная температура	+1300 С
Нагрев	ИК лампы, 13 шт, 1,25 кВт каждая
Электропитание	380 В, 3 фазы, 5 проводов, 50 Гц
Охлаждение	Обычная вода, 1-3 кг/см², 6-8 л/мин и с помощью подачи газа
Безопасность	Сигнализация превышения температуры, снижение давления воды
Управление	ПК контроль и ПО
Комплектация	базовый блок печи, 1 газовая линия для азота с MFC, ПК управления, монитор, клавиатура, мышь, вакуумная помпа, система замкнутого охлаждения, фитинги подключения, запасная ИК лампа.
Гарантия	12 месяцев

Кроме модели HTAO500 производитель может изготовить и другие установки с еще более впечатляющими параметрами:

- диаметр пластин до 300 мм,

- максимальная температура 1700С,

- скорость нагрева от 0,1 до 500С/сек,

- до 4-х газовых линий и др.

Наша компания является эксклюзивным дистрибьютором компании Beijing EastStar на территории РФ и стран СНГ. Мы осуществляем подбор, поставку, пусконаладочные и гарантийные работы по всему спектру оборудования, производимого данной фирмой, которая является лидером в Китае в области быстрой термической обработки и имеет широкую клиентскую базу.

Более подробное описание оборудования Вы можете посмотреть в нашем каталоге или обратившись по телефону +7(499)653-80-83 или отправив запрос по электронной почте Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра..