X

ООО «Термо-Решения»

Поставки промышленного оборудования импортного и российского производства

+7 (499) 653 80 83

e-mail: info@thermo-r.ru

Новости

Поделиться

С друзьями в соц.сетях

Установки быстрого термического отжига пластин и подложек HTAO500




HTAO500 - настольная установка быстрого термического отжига для использования в полупроводниковой промышленности, в частности это вжигание металлизации, отжиг LED пластин, спекание металлических слоев, Low-K, производство солнечных элементов. Печка выгодно отличается высокими скоростями нагрева и охлаждения, что является важным параметром при выборе подобных установок.

 

 

 

 

 

           
 
 
Основные технические характеристики: 
Максимальная температура +1300 С
Нагрев ИК лампы, 13 шт, 1,25 кВт каждая
Электропитание 380 В, 3 фазы, 5 проводов, 50 Гц
Охлаждение Обычная вода, 1-3 кг/см2, 6-8 л/мин и с помощью подачи газа
Безопасность Сигнализация превышения температуры, снижение давления воды
Управление ПК контроль и ПО
Комплектация
  • базовый блок печи,
  • 1 газовая линия для азота с MFC,
  • ПК управления, монитор, клавиатура, мышь,
  • вакуумная помпа,
  • система замкнутого охлаждения,
  • фитинги подключения,
  • запасная ИК лампа.
Гарантия 12 месяцев