Главная/ Оборудование/ Оборудование для производства микроэлектроники/ Оборудование для кристального производства/ Установка временного монтажа пластин MCU3000
Оборудование для производства микроэлектроники · Оборудование для кристального производства

Установка временного монтажа пластин MCU3000

Установка предназначена для временного монтажа и демонтажа полупроводниковых пластин на специальный носитель. Производительность 15-25 пластин в час, максимальный диаметр – 300 мм.

  • Отсутствие необходимости в дополнительном оборудовании
  • Широкое технологическое окно применения
  • Нет расходных материалов (жертвенные пластины, адгезивы, пленки)
  • Простой и быстрый процесс
  • Снижение эксплуатационных затрат
  • Безопасность и отсутствие рисков повреждения

Установка предназначена для временного монтажа и демонтажа полупроводниковых пластин на специальный носитель. Производительность 15-25 пластин в час, максимальный диаметр – 300 мм.

Оборудование может использоваться в лабораториях и мелко/среднесерийном производстве. Управление осуществляется с помощью PLC контроллера и сенсорного дисплея. Переналадка между диаметрами занимает считанные минуты.

Технология основана на методе электростатического монтажа/демонтажа пластин с использованием одно- и биполярных временных носителей. Модель идеальна для пластин толщиной менее 50 мкм.

Области применения

  • Зондовый контроль и тестирование пластин
  • Транспортировка пластин
  • Шлифовка/полировка/утонение
  • Термические процессы и отжиг
  • Обработка солнечных элементов
  • Плазмохимическая обработка
  • 3D монтаж и МЭМС технологии
  • Сращивание пластин, литография, ионная имплантация, напыление

Преимущества

  • Отсутствие необходимости в дополнительном оборудовании
  • Широкое технологическое окно применения
  • Нет расходных материалов (жертвенные пластины, адгезивы, пленки)
  • Простой и быстрый процесс
  • Снижение эксплуатационных затрат
  • Безопасность и отсутствие рисков повреждения
Исполнения по диаметру76/100/150 мм, 150/200 мм и 200/300 мм
Циклдо 5 секунд
Программируемые параметры процессанапряжение, время
Срок службы сменных носителейдо 1000 циклов
Напряжение процессадо 3 кВ
Габаритные размеры621x430x330 мм
Вес20 кг
Электропитание220В, 50 Гц
Пневмопитание и вакуумтребуются
Смотрите также

Похожее оборудование

Все модели раздела →

Хотите рассчитать стоимость с доставкой?

Пришлём коммерческое предложение с ценой, сроком поставки и вариантами оснастки.

Контакты

Свяжитесь с нами

Адрес

305010, г. Курск, ул. Чапаева, д. 22А

Телефон

+7 (499) 653-80-83

Режим работы

Пн–Пт: 9:00–18:00

Оставить заявку

Ответим на вопросы по подбору и наличию оборудования в течение рабочего дня.