Главная/ Оборудование/ Оборудование для производства микроэлектроники/ Оборудование для кристального производства/ Установка совмещения и сращивания пластин WBS-TS
Оборудование для производства микроэлектроники · Оборудование для кристального производства

Установка совмещения и сращивания пластин WBS-TS

Установка WBS-TS представляет собой комплекс модулей для выполнения совмещения и сращивания пластин различными способами.

Установка WBS-TS представляет собой комплекс модулей для выполнения совмещения и сращивания пластин различными способами.

Установка состоит из следующих узлов: модуль совмещения, модуль управления, модуль монтажа (сращивания) пластин, вакуумная система, система охлаждения.

Типы процессов

  • Адгезионный монтаж пластин
  • Термокомпрессионный монтаж-сращивание
  • Эвтектическая пайка и оплавление пластин в вакууме и др.

Материалы обрабатываемых пластин: Si, GaAs, InP, Ge, AlGaAs, гетерогенные структуры.

Области применения

  • Фотоника
  • LED и микроLED
  • CMOS сенсоры и камеры
  • SAW фильтры
  • Корпусирование на уровне пластины
  • МЭМС датчики
  • R&D в области микроэлектроники
Размер пластинДиаметр 25–150 мм, в зависимости от выбранной оснастки
Толщина монтируемых пластинНе более 3 мм для 2-х пластин после монтажа
Точность совмещения+/-10 мкм
Усилие монтажа10 кН
Максимальная температура+450°С
Вакуум10⁻³ Тор
Модуль совмещенияXYZTheta
Принцип совмещенияРучное с помощью системы подвижных видеокамер
Управление установкойРучное с моторизованными приводами
Требования к подключениямВоздух, азот, вода/Электропитание 380В, 3 фаз
Материал рабочей камерыНержавеющая сталь
Продувка азотомНаличие
ОпцииОснастка для пластин, чиллер охлаждения, автоматическое совмещение, автоматическая загрузка, анодное и прямое сращивание
Смотрите также

Похожее оборудование

Все модели раздела →

Хотите рассчитать стоимость с доставкой?

Пришлём коммерческое предложение с ценой, сроком поставки и вариантами оснастки.

Контакты

Свяжитесь с нами

Адрес

305010, г. Курск, ул. Чапаева, д. 22А

Телефон

+7 (499) 653-80-83

Режим работы

Пн–Пт: 9:00–18:00

Оставить заявку

Ответим на вопросы по подбору и наличию оборудования в течение рабочего дня.