Главная/ Оборудование/ Оборудование для производства микроэлектроники/ Оборудование для кристального производства/ Установка совмещения и сращивания пластин серии AWB
Оборудование для производства микроэлектроники · Оборудование для кристального производства

Установка совмещения и сращивания пластин серии AWB

Установки серии AWB представляют собой универсальную платформу in-situ совмещения и сращивания пластин от 50 до 200 мм различными методами.

Установки серии AWB представляют собой универсальную платформу in-situ совмещения и сращивания пластин от 50 до 200 мм различными методами.

Установки предназначены для совмещения и сращивания пластин с использованием следующих методов: анодное, эвтектическое, прямое (диффузионное), адгезионное, пайка, термокомпрессия, glass frit, in-situ химия, активация радикалов, УФ совмещение и сращивание.

Области применения

  • Высокоточный адгезионный монтаж
  • MEMs устройства – датчики давления, акселерометры, микрофлюидика
  • Вакуумное корпусирование
  • Корпусирование на уровне пластины – для MEMS и IC
  • III-V монтаж – новые типы LED
  • 3D технологии и TSV
  • Новые типы материалов, например кремний на стекле
  • Smart cut – перенос слоя
Точность In-situ совмещения±1 мкм
Размеры пластин50 до 200 мм и отдельные кристаллы
Давление10⁻⁶ мбар до 2 бар газа (UHV опция)
Напряжениедо 2,5 кВ
Температурыдо +560°C
Контактное усилиедо 40 кН
In-situ УФ отверждениеДа
Время циклабыстрый монтаж/производительность
Смотрите также

Похожее оборудование

Все модели раздела →

Хотите рассчитать стоимость с доставкой?

Пришлём коммерческое предложение с ценой, сроком поставки и вариантами оснастки.

Контакты

Свяжитесь с нами

Адрес

305010, г. Курск, ул. Чапаева, д. 22А

Телефон

+7 (499) 653-80-83

Режим работы

Пн–Пт: 9:00–18:00

Оставить заявку

Ответим на вопросы по подбору и наличию оборудования в течение рабочего дня.