Установка WBS-TS представляет собой комплекс модулей для выполнения совмещения и сращивания пластин различными способами.
WBS-TS состоит из следующих узлов:
- модуль совмещения,
- модуль управления,
- модуль монтажа (сращивания) пластин,
- вакуумная система,
- система охлаждения.
Модель WBS-TS обеспечивает следующие типы процессов:
- адгезионный монтаж пластин,
- термокомпрессионный монтаж-сращивание,
- эвтектическая пайка и оплавление пластин в вакууме и др.
Материалы обрабатываемых пластин: Si, GaAs, InP, Ge, AlGaAs, гетерогенные структуры.
Области применения установки:
- фотоника,
- LED и микроLED,
- CMOS сенсоры и камеры,
- SAW фильтры,
- корпусирование на уровне пластины,
- МЭМС датчики,
- R&D в области микроэлектроники.
Основные технические характеристики установки:
| Параметр | Значение |
| Размер пластин | Диаметр 25 – 150 мм, в зависимости от выбранной оснастки |
| Толщина монтируемых пластин | Не более 3 мм для 2-х пластин после монтажа |
| Точность совмещения | +/-10 мкм |
| Усилие монтажа | 10 кН |
| Максимальная температура | +450С |
| Вакуум | 10-3Тор |
| Модуль совмещения | XYZTheta |
| Принцип совмещения | Ручное с помощью системы подвижных видеокамер, располагаемых между пластинами |
| Управление установкой | Ручное с моторизованными приводами узлов совмещения и монтажа. Вывод графиков процесса. |
| Требования к подключениям | Воздух, азот, вода/Электропитание 380В, 3 фаз |
| Управление установкой | ПК, ПО, Английский интерфейс, программирование всех параметров процесса, неограниченное количество программ. |
| Материал рабочей камеры | Нержавеющая сталь |
| Продувка азотом | Наличие |
| Опции | Оснастка для пластин, чиллер охлаждения камеры, автоматическое совмещение, автоматическая загрузка пластин, анодное и прямое сращивание. |