Установки дисковой резки предназначены для разделения полупроводниковых пластин и подложек на кристаллы или отдельные элементы. Типовые материалы пластин это кремний, арсенид галлия. В качестве материала подложек чаще всего выступает различная керамика на основе оксида алюминия. Процесс резки выполняется с помощью прецизионных режущих дисков.
Серия SS позволяет производить обработку пластин диаметрами 150, 200 и 300 мм.
Оборудование для дисковой резки компании Accretech отличается удобством использования, высокой скоростью обработки и очень компактным дизайном.
Спецификация:
- Тип установки: Автоматическая с ручной загрузкой
- Максимальный диаметр пластин: 150 мм
- Максимальный размер квадратных подложек: 152х152 мм
- Частота вращения шпинделя: 60 000 об/мин
- Максимальный диаметр режущего диска: 60 мм
- Мощность шпинделя: 1,8 кВт (максимальная выходная 2,2 кВт)
- Диапазон перемещения по оси Х: 160 мм
- Максимальная скорость по оси Х: 750 мм/сек
- Диапазон перемещения по оси Y: 162 мм
- Максимальная скорость по оси Y: 180 м/сек
- Точность перемещения по оси Y: 5 мкм (на длине 162 мм)
- Перемещение по оси Z: 35 мм
- Максимальная скорость по оси Z: 80 мм/сек
- Повторяемость по оси Z: 1
- Вращение вокруг оси Z: 320°
- Габаритные размеры: 495х880х1715 мм
- Вес: 389 кг
Отличительные особенности:
- малая занимаемая площадь,
- высокоскоростной шпиндель 80 00 об/мин (для SS20 и SS30),
- высокомощный шпиндель 2,2 кВт (для SS20 и SS30),
- 17” сенсорный монитор управления,
- обновленный графический интерфейс,
- наличие интерактивных подсказок оператору,
- простая и удобная функция проверки ширины реза,
- хранение более 10 000 рецептов,
- USB передача файлов,
- простота и легкий доступ для обслуживания за счет большой фронтальной двери,
- самая малая занимаемая площадь в классе,
- на 50%сниженное потребление сжатого воздуха,
- автоматическое совмещение,
- детектор поломки диска,
- оптическая настройка диска,
- станция правки диска,
- встроенный трансформатор напряжения
- жесткая конструкция рамы, гранитное основание,
- расположение шпинделя на жесткой балке = стабильность реза, отсутствие биения.