Установка измерения толщины слоев HM-100

Высокточный спектарльный коаксиальный сенсор.
Высокоточная моторизованная гранитная платформа.
Высокоскоростная и выскоточная промышленная камера с телецентрической линзой с низким уровнем искажений.

Решаемые задачи:

измерение толщины слоев,
измерение линейных размеров (ширина дорожки, зазора, топологии),
измерение шероховатости поверхности.

Области применения:

LTCC/MLCC пленки.
Толстопленочная технология.
DBC/AMB подложки.
Толстопленочные резисторы.
Мембраны солнечных элементов.
Литье керамической ленты.
Полупроводники.
Керамические нагреватели.
Толстые прозрачные клеи.

Примеры применения установки HM-100

1. Сырая LTCC/HTCC керамика

Измерение толщины мембраны (печатных слоев).
Измерение ширины линий/зазоров проводников.
Шероховатость.

Внешний вид рабочего экрана программного обеспечения (окошко с изображением изделия в реальном режиме времени,

закладки и меню проводимых измерений)

2. Измерение глубины лазерной маркировки

Интуитивный интерфейс.
Простота работы.
Статистика данных.

3. Толстопленочные резисторы

Высокая скорость.
Высокая точность.
Эффективность.

4. Примеры других применений

Измерение толщины

Измерение шероховатости и плосконстности

Измерение линейных размеров (ширина, зазор)

Преимущества установки HM-100:

обеспечивает бесконтактное оптическое измерение с высокой точностью,
поддержка различных материалов, слоев,
высокая скорость измерения, 20 микросекунд,
сбор и анализ статистических данных,
виброплатформа,
измерение профиля, пошаговая, глубина канавки, высота.

Параметры:

Габаритные размеры: 650х500х350 мм.

Перемещение по Z: 50 мм.

Диапазон измерения: 600 мкм.

Допустимый диапазон измерения: 130 мм.

Мин. шаг сканирования: 0,1 мкм.

Разрешение сенсора: 8,6 нм.

Повторяемость детектирования: менее 0,5 мкм.

Принцип работы:

Основываясь на принципе оптической дисперсии, мы устанавливаем соответствующую зависимость между расстоянием и длиной волны. Используя специальную линзу, мы усиливаем хроматическую аберрацию белого света полного спектра. Для различных измеряемых объектов свет будет фокусироваться с определенной длиной волны, соответствующей расстоянию между объектом и линзой. Измеряя длину волны отраженного света, мы можем получить точное расстояние между измеряемым объектом и линзой.

Сравнение между традиционным лазерным/прожекционным и спектральным конфокальным методами измерений

Лазер или прожекционный методы:

Принцип работы: Изменения высоты сопоставляются со смещением изображения датчика, а расстояние по высоте рассчитывается на основе тригонометрических функций. Это включает в себя метод фазового сдвига полосы белого света, который в конечном итоге также преобразует смещение в плоскости в высоту с помощью метода триангуляции.

Оптический конфокальный метод:

Многоволновой луч проецируется на объект через рассеивающую линзу. Только сфокусированный на объекте свет может пройти через точечное отверстие и вернуться в анализатор спектра, а расстояние может быть рассчитано путем измерения длины волны.

Лазерный и прожекционный методы:

Эффект тени: Лазерная триангуляция и другие методы угловой проекции имеют эффект тени и не позволяют измерить закрытую часть внезапных шагов.

Оптический конфокальный метод:

Свет проникает со всех сторон. Даже если большая часть заблокирована светом, при условии, что небольшая его часть возвращается, измерение все равно может быть выполнено. Прибор позволяет измерять даже небольшие отверстия и углубления на дне, которые невозможно измерить другими методами.

Лазер или прожекциорнный методы:

Влияние прозрачности материала заготовки: Многие пользователи убедились, что при измерении деталей, изготовленных из материалов с различной прозрачностью, светопропускание может приводить к отклонениям, требующим отдельной калибровки. Прозрачные и зеркальные материалы трудно поддаются измерению.

Оптический конфокальный метод:

В случае полупрозрачных материалов рассеянный отраженный свет вокруг светового пятна блокируется небольшим отверстием и не может попасть в анализатор спектра, что не влияет на результаты измерений и не требует калибровки. Этот метод аналогичен голографическому принципу. Теоретически, каждый луч света, проходящий через маленькое отверстие, несет информацию о расстоянии. Прозрачные или зеркальные поверхности также будут отражать часть света обратно, поэтому можно измерять и прозрачные материалы, и даже многослойные измерения.

Лазер или прожекциорнный методы:

Влияние светового пятна на разрешение: Лазерное пятно является самым тонким только в точке фокусировки. После выхода из точки фокусировки пятно становится больше, что приводит к снижению точности измерений.

Оптический конфокальный метод:

В пределах диапазона измерений свет с соответствующей длиной волны всегда попадает в фокусную

точку. Нет проблем с ухудшением точности, вызванных изменением местоположения, а точность измерений стабильна и надежна.