V55-G это универсальная система плазменной очистки, предназначенная для удаления загрязнений до операции разварки выводов проволокой при применении Flip Chip технологии.
Отличительные особенности:
• Конструкционные особенности позволяют избежать недостатков процесса плазменной очистки, связанных с «эффектом экранирования».
• Массовый расходомер газов.
• Отображение важных параметров всех процессов.
• Сверхточное совмещение по верхней стороне.
• Возможность удалённого контроля.
• PLC-контролер.
• Сдвижная дверь.
• USB–интерфейс.
Области применения:
• Изготовление МЭМС и изделий сверхмалого размера.
• Удаление полимеров.
• Удаление жертвенных органических слоёв.
• Обработка биоактивных компаундов.
Опции:
• Вакуумная помпа.
• Озоновая ловушка.
• До трех газовых линий.
• Экранированная камера.
• Вращающийся столик.
• Клапан управления давлением и т.д..
Технические характеристики:
Размеры рабочей камеры: 400 x 460 x 340 мм.
Частота генератора: 2,45 ГГц, 100 — 1200 Вт.
Подача газа: 2 газовые магистрали с массовыми расходомерами с магнитными клапанами.
Электропитание: 380 В, 50 Гц, 2,2 кВт.
Габаритные размеры: 670 x 900 x 1850 мм.