V6-G это настольная система плазменной очистки, служащая для удаления загрязнений, оксидов, и тд до операции разварки выводов проволокой при применении технологии Flip Chip.
Отличительные особенности:
• Дверка камеры открывается в обе стороны.
• Автоматическая очистка вакуумной линии после выключения системы.
• Сверхточное совмещение по верхней стороне.
• Система массового расходомера рабочих газов, позволяющая производить смену газовых баллонов с разным давлением.
• PLC контроллер- гарантирующий безопасность эксплуатации и дающий возможность программирования и сохранения разных режимов работы.
• Обновление программного обеспечения посредствам аналогового модема.
• Возможность использования вращающегося барабана для обработки маленьких деталей.
• RS-232 интерфейс.
Области применения:
• Изготовление МЭМС.
• Удаление полимеров (например, после Bosch-процессов).
• Удаление жертвенных органических слоёв.
• Обработка биоактивных компаундов.
Опции:
• Вакуумная помпа.
• Озоновая ловушка.
• Вторая газовая линия.
• Вращающийся барабан для мелких компонентов.
• Ящик с полками.
• Дистанционное управление и т.д..
Технические характеристики:
Размеры рабочей камеры: 170х170х200 мм.
Частота: 2,45 ГГц макс. 300 Вт.
Подача газа: Одна газовая магистраль с массовым расходомером с магнитным клапаном.
Электропитание: Однофазное 230В, 50-60 Гц, 16 А.
Габаритные размеры: 640х710х710 мм.
Вес: 100 кг.