Новая ступень в технологии атомно-слоевого осаждения

10.09.21

ООО «Термо-Решения» представляет технологии и оборудование для атомно-слоевого осаждения компании «Encapsulix SAS», Франция.

Компания «Термо-Решения» объявляет об открытии нового направления поставок высокотехнологичного оборудования – установки атомно-слоевого осаждения производства «Encapsulix SAS», Франция.
Оборудование данной компании позволяет наносить различные ультра точные пленки и слои с высокой скоростью по сравнению с традиционными решениями. Высокие скоростные показатели процессов достигаются за счет уникальных запатентованных решений подачи реактивов, газов и конструкции рабочей камеры.

Модельный ряд оборудования компании Encapsulix SAS имеет в своем составе, как научно-исследовательские систему, так и установки, ориентированные на интеграцию в кластер в крупносерийном производстве.

Области применения оборудования АСО Encapsulix SAS:

• OLED и OLED на кремнии,
• МЭМС и полупроводники,
• Фотовольтаика,
• Оптика,
• Гибкая и печатная электроника,
• High K и TFT.

Особенности оборудования:

• Пластины от 100 до 200 мм,
• Отдельно стоящее решение или интеграция в кластер,
• Автоматическое управление и контроль,
• До 5-ти различных прекурсоров и до 5-ти окислителей в одной установке,
• До 20-ти контролируемых температурных зон,
• Ozone, PELAD процессы, в том числе с предварительной плазменной очисткой,
• In-situ метрология, атмосферная камера, скрубберы, прекурсоры (опция),
• Нагрев до +400С,
• Высокая скорость осаждения (до 50А/мин*).

Более подробную информацию Вы можете получить, обратившись по телефону +7(499)653-80-83 или отправив запрос по электронной почте Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра..