- 10.09.21
ООО «Термо-Решения» представляет технологии и оборудование для атомно-слоевого осаждения компании «Encapsulix SAS», Франция.
Компания «Термо-Решения» объявляет об открытии нового направления поставок высокотехнологичного оборудования – установки атомно-слоевого осаждения производства «Encapsulix SAS», Франция.
Оборудование данной компании позволяет наносить различные ультра точные пленки и слои с высокой скоростью по сравнению с традиционными решениями. Высокие скоростные показатели процессов достигаются за счет уникальных запатентованных решений подачи реактивов, газов и конструкции рабочей камеры.

Модельный ряд оборудования компании Encapsulix SAS имеет в своем составе, как научно-исследовательские систему, так и установки, ориентированные на интеграцию в кластер в крупносерийном производстве.
Области применения оборудования АСО Encapsulix SAS:
- OLED и OLED на кремнии,
- МЭМС и полупроводники,
- Фотовольтаика,
- Оптика,
- Гибкая и печатная электроника,
- High K и TFT.
Особенности оборудования:
- Пластины от 100 до 200 мм,
- Отдельно стоящее решение или интеграция в кластер,
- Автоматическое управление и контроль,
- До 5-ти различных прекурсоров и до 5-ти окислителей в одной установке,
- До 20-ти контролируемых температурных зон,
- Ozone, PELAD процессы, в том числе с предварительной плазменной очисткой,
- In-situ метрология, атмосферная камера, скрубберы, прекурсоры (опция),
- Нагрев до +400С,
- Высокая скорость осаждения (до 50А/мин*).
Результаты типовых процессов
Материал | Химия | Время цикла АСО | Толщина слоя за цикл |
Al2O3 | TMA +H2O | ≤900 мсек при +90С/ ≤600 мсек при +125С | 0,6-0,8А |
Al2O3 | TMA+O2 plasma | ≤1500 мсек при +60С | 1,2-1,8А |
TiO2 | TTIP+H2O | ≤1200 мсек при +125С | 0,25-0,35А |
SiO2 | Orthrus+Ar/O2 плазма | ≤1500 мсек при +80С | 1,2-1,4А |
Более подробную информацию Вы можете получить, обратившись по телефону +7(499)653-80-83 или отправив запрос по электронной почте Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра..