Главная/ Оборудование/ Оборудование для производства микроэлектроники/ Оборудование для кристального производства/ Системы атомно-слоевого осаждения Infinity ALD C200 / M 200
Оборудование для производства микроэлектроники · Оборудование для кристального производства

Системы атомно-слоевого осаждения Infinity ALD C200 / M 200

Установки атомно-слоевого осаждения предназначены для быстрого, низкотемпературного и ультра точного получения различных пленок в широком диапазоне применения.

  • Подложки и пластины 100, 150 и 200 мм, а также квадратные и прямоугольные подложки
  • Отдельные модули и кластерные решения со шлюзовой камерой
  • Автоматическое управление
  • До 6-ти линий металлических прекурсоров и до 6-ти линий оксидантов
  • Процессы с озоном, PEALD и плазменной предочисткой
  • In situ метрология
  • Нагрев до +300°C
  • Запатентованная технология подачи прекурсоров, обеспечивающая высокие скорости осаждения

Установки атомно-слоевого осаждения предназначены для быстрого, низкотемпературного и ультра точного получения различных пленок в широком диапазоне применения.

Оборудование компании Encapsulix SAS (Франция) может применяться в научной деятельности, разработках, пилотном и крупносерийном производствах.

Области применения

  • OLED R&D и OLED на кремнии
  • MEMS и полупроводники
  • Фотовольтаика
  • Оптика
  • Гибкая и печатная электроника
  • High k и TFT

Особенности

  • Подложки и пластины 100, 150 и 200 мм, а также квадратные и прямоугольные подложки
  • Отдельные модули и кластерные решения со шлюзовой камерой
  • Автоматическое управление
  • До 6-ти линий металлических прекурсоров и до 6-ти линий оксидантов
  • Процессы с озоном, PEALD и плазменной предочисткой
  • In situ метрология
  • Нагрев до +300°C
  • Запатентованная технология подачи прекурсоров, обеспечивающая высокие скорости осаждения
Подложки100-200 мм, кремний, стекло, оптические компоненты
ЗагрузкаРучная, ручная шлюзовая, автоматическая кластерная MESC
Электропитание220 В / 32 A, одна фаза
CDA8 бар, 5 сл/м N 99,999%
CE соответствиеEN 13849-1, EN 60204-1, EN 12000
ОпцииАтмосферная камера, Ozone, Скруббер, Плазма, in situ метрология, Прекурсоры
Смотрите также

Похожее оборудование

Все модели раздела →

Хотите рассчитать стоимость с доставкой?

Пришлём коммерческое предложение с ценой, сроком поставки и вариантами оснастки.

Контакты

Свяжитесь с нами

Адрес

305010, г. Курск, ул. Чапаева, д. 22А

Телефон

+7 (499) 653-80-83

Режим работы

Пн–Пт: 9:00–18:00

Оставить заявку

Ответим на вопросы по подбору и наличию оборудования в течение рабочего дня.