Главная/ Оборудование/ Оборудование для производства микроэлектроники/ Тестирование и контроль/ Установка измерения толщины слоёв HM-100
Оборудование для производства микроэлектроники · Тестирование и контроль

Установка измерения толщины слоёв HM-100

Установка бесконтактного оптического измерения толщины слоёв с высокоточным спектральным коаксиальным сенсором и моторизованной гранитной платформой.

  • Измерение толщины слоёв, линейных размеров (ширина дорожки, зазора, топологии)
  • Измерение шероховатости поверхности
  • Применение: LTCC/MLCC плёнки, толстоплёночная технология, DBC/AMB подложки
  • Толстоплёночные резисторы, мембраны солнечных элементов, литьё керамической ленты, полупроводники

Установка предназначена для бесконтактного оптического измерения. Оснащена высокоточным спектральным коаксиальным сенсором, моторизованной гранитной платформой и промышленной камерой с телецентрической линзой.

Габаритные размеры650х500х350 мм
Перемещение по Z50 мм
Диапазон измерения600 мкм
Допустимый диапазон измерения130 мм
Минимальный шаг сканирования0,1 мкм
Разрешение сенсора8,6 нм
Повторяемость детектированияменее 0,5 мкм
Смотрите также

Похожее оборудование

Все модели раздела →

Хотите рассчитать стоимость с доставкой?

Пришлём коммерческое предложение с ценой, сроком поставки и вариантами оснастки.

Контакты

Свяжитесь с нами

Адрес

305010, г. Курск, ул. Чапаева, д. 22А

Телефон

+7 (499) 653-80-83

Режим работы

Пн–Пт: 9:00–18:00

Оставить заявку

Ответим на вопросы по подбору и наличию оборудования в течение рабочего дня.