Главная/ Оборудование/ Оборудование для производства микроэлектроники/ Шлифовка и утонение пластин/ Автоматическая установка шлифовки и полировки пластин серия FDG
Оборудование для производства микроэлектроники · Шлифовка и утонение пластин

Автоматическая установка шлифовки и полировки пластин серия FDG

Автоматический комплекс химико-механической обработки полупроводниковых пластин различных материалов, толщин и параметров обработки — Si, GaAs, SiC, сапфир, стекло, солнечные батареи и другие.

  • Три независимых вакуумных рабочих столика с аэростатическим шпинделем
  • Обработка пластин диаметром от 50 до 300 мм, толщиной от 30 мкм
  • Загрузка/выгрузка пластин из кассеты, робот для перемещения внутри машины
  • Бесконтактный контроль окончания процесса в онлайн-режиме
  • Встроенная станция промывки и система очистки рабочих столиков
  • Карусельная система смены столиков

Принцип работы

Установка представляет собой автоматический комплекс химико-механической обработки полупроводниковых пластин различных материалов, толщин и параметров обработки. Обрабатываемые материалы: Si, GaAs, SiC, сапфир, стекло, солнечные батареи и многие другие.

Три независимых вакуумных рабочих столика с аэростатическим шпинделем и карусельной системой смены обеспечивают непрерывный цикл обработки, а бесконтактная система контроля в онлайн-режиме останавливает процесс точно по достижении заданной толщины.

Видео: работа установки FDG

Пластины Si и SiC после шлифовки и полировки на установке FDG
Результат обработки: пластина Si после тонкой шлифовки и пластина SiC после CMP-полировки
Диаметр пластин50–300 мм
Количество вакуумных рабочих столиков3
Толщины пластинот 30 до ≥1100 мкм
Станция загрузки/выгрузки пластиниз кассеты
Диаметр шлифовального диска209/312 мм
Частота вращения диска0–4000 об/мин
Частота вращения столиков0–300 об/мин
Скорость подачи0,1–80 мкм/сек (разрешение 0,1 мкм)
Система контроля окончания процессабесконтактная, в онлайн-режиме
TTV по пластинеменее 2 мкм для 200 мм
Шероховатость после обработки0,015 мкм
Электропитание21 кВт
Габаритные размеры1300×2770×1920 мм
Вес5000 кг
Аэростатический шпиндельдва независимых
Универсальный вакуумный прижим пластинналичие
Робот для перемещения пластин внутри машиныналичие
Станция промывки пластинналичие
Система очистки рабочих столиковналичие
Карусельная система смены столиковналичие

Хотите рассчитать стоимость с доставкой?

Пришлём коммерческое предложение с ценой и сроком поставки.

Контакты

Свяжитесь с нами

Адрес

305010, г. Курск, ул. Чапаева, д. 22А

Телефон

+7 (499) 653-80-83

Режим работы

Пн–Пт: 9:00–18:00

Оставить заявку

Ответим на вопросы по подбору и наличию оборудования в течение рабочего дня.