Главная/ Оборудование/ Оборудование для производства микроэлектроники/ Разделение пластин/ Установка скрайбирования и разламывания S-100
Оборудование для производства микроэлектроники · Разделение пластин

Установка скрайбирования и разламывания S-100

Полуавтоматическая система для монтажа кристаллов с функциями разделения полупроводниковых пластин алмазным резцом и методом разлома.

  • Рабочие столики (опция)
  • Инструменты для скрайбирования (опция)

Полуавтоматическая система для монтажа кристаллов с функциями разделения полупроводниковых пластин алмазным резцом и методом разлома.

Установка позволяет производить монтаж кристаллов различными способами и представляет собой полуавтоматическую систему, где захват, перемещение и установка компонентов производятся автоматически по заданной программе, а совмещение кристалла и подложки производится вручную оператором с помощью видеосистемы высокого разрешения.

Установка обеспечивает точность монтажа кристаллов менее 3 мкм. Такая точность достигается применением жесткой рамы, вертикального перемещения монтажной головки и наличием моторизованного основания.

Модель S-100 сочетает в себе функции разделения полупроводниковых пластин и подложек алмазным резцом и их разделение методом разлома. Гибкая последовательность цикла позволяет очень деликатно обрабатывать пластины из чувствительных материалов, таких как GaAs, не повреждая кристаллы.

В процессе разлома пластин используется майларовая пленка для удержания кристаллов и снижения стресса в результате действия разламывающего лезвия.

Машина имеет ПК управление и программируемые параметры процесса.

Модель S-100 имеет антивибрационную конструкцию, проста и надежна в эксплуатации.

Перемещение по ZС настройкой по углу
Настраиваемое усилие скрайбирования3-50 гр
Алмазный инструментС настройкой по углу и вращению
Диаметр пластин76 мм или 100 мм
Минимальный размер кристалла200 мкм
Максимальный размер кристалла10х10 мм
Толщина пластинДо 100 мкм
Разрешение перемещения XY столика1 мкм
Монитор17" TFT
КамераЦветная CCD высокого разрешения
Режим скрайбирования по Y0.1-20 мм/сек
Габаритные размеры450х700х500 мм
Вакуум70%
Пневмопитание70%
Электропитание220В, 50 Гц, 1 кВт
Вес80 кг
Смотрите также

Похожее оборудование

Все модели раздела →

Хотите рассчитать стоимость с доставкой?

Пришлём коммерческое предложение с ценой, сроком поставки и вариантами оснастки.

Контакты

Свяжитесь с нами

Адрес

305010, г. Курск, ул. Чапаева, д. 22А

Телефон

+7 (499) 653-80-83

Режим работы

Пн–Пт: 9:00–18:00

Оставить заявку

Ответим на вопросы по подбору и наличию оборудования в течение рабочего дня.