Главная/ Оборудование/ Оборудование для производства микроэлектроники/ Разделение пластин/ Автоматическая установка дисковой резки пластин QSD0620/QSD0630
Оборудование для производства микроэлектроники · Разделение пластин

Автоматическая установка дисковой резки пластин QSD0620/QSD0630

Установка для разделения полупроводниковых пластин и подложек широкого спектра материалов на отдельные кристаллы и заготовки методом дисковой резки.

  • Компактный дизайн, сенсорный экран управления
  • DD-приводы с обратной связью
  • Кольцевая и коаксиальная подсветка видеосистемы
  • Мониторинг процесса резки в реальном времени
  • Возможность многозадачной резки
  • Автоматическое совмещение и фокусировка, идентификация формы заготовки
  • Детектор поломки диска, оптическая бесконтактная проверка износа диска

Установка предназначена для разделения полупроводниковых пластин и подложек широкого спектра материалов на отдельные кристаллы и заготовки методом дисковой резки с помощью режущих дисков.

Жёсткая конструкция обеспечивает стабильное качество и точность резки. Y-ось работает в замкнутом контуре по оптической линейке, что даёт высокую точность позиционирования; кольцевая и коаксиальная подсветка видеосистемы позволяет наблюдать заготовки из разных материалов.

Применение

Прецизионная резка электронных компонентов, интегральных схем, светодиодов (LED), солнечных батарей, оптических и оптоволоконных устройств, электронной керамики. Подходит для кремниевых пластин, пластиковых корпусов (QFN, BGA), печатных плат, керамических подложек (оксид алюминия, оксид циркония), оксидной керамики (термо-, пьезо-, фоторезисторы), стекла, кварца, ниобата и танталата лития, магнитных материалов.

Диаметр пластиндо 300 мм
Количество шпинделей1/2
Скорость вращения шпинделя4 000–60 000 об/мин
Мощность шпинделя1,8/2,4 кВт
Ход по оси X310 мм
Скорость по оси X0,01–800 мм/сек
Ход по оси Y310 мм
Точность по оси Y3–5 мкм на длине 165–310 мм
Ход по оси Z25 мм
Точность по оси Z1 мкм
Вращение Theta0–380°
Точность вращения столика0,0004°
Режущие диски50 и 76 мм
Вакуумный пористый рабочий столикдо 300 мм
Габаритные размеры640×908×1650 мм
Вес600 кг

Хотите рассчитать стоимость с доставкой?

Пришлём коммерческое предложение с ценой и сроком поставки.

Контакты

Свяжитесь с нами

Адрес

305010, г. Курск, ул. Чапаева, д. 22А

Телефон

+7 (499) 653-80-83

Режим работы

Пн–Пт: 9:00–18:00

Оставить заявку

Ответим на вопросы по подбору и наличию оборудования в течение рабочего дня.