Главная/ Новости/ Установки быстрого термического отжига пластин и подложек
09.06.2026

Установки быстрого термического отжига пластин и подложек

ООО «Термо-Решения» представляет вниманию наших Заказчиков и партнеров новинку в линейке нашей продукции, а именно — печи быстрого термического отжига пластин и подложек производства компании BeijingEastStar, Китай.

Печи серии HTAO ориентированы на замену аналогичным моделям недоступных сегодня брендов, таких как UniTemp, ATV, Annealsys и другим. Базовой моделью компании является установка HTAO500, параметры которой приведены ниже.

HTAO500 — это настольная установка быстрого термического отжига для использования в полупроводниковой промышленности, в частности это вжигание металлизации, отжиг LED пластин, спекание металлических слоев, Low-K, производство солнечных элементов. Печка выгодно отличается высокими скоростями нагрева и охлаждения, что является важным параметром при выборе подобных установок.

Установка быстрого термического отжига HTAO500

Технические характеристики

Максимальная температура +1300 °C
Нагрев ИК лампы, 13 шт, 1,25 кВт каждая
Электропитание 380 В, 3 фазы, 5 проводов, 50 Гц
Охлаждение Обычная вода, 1–3 кг/см², 6–8 л/мин и подача газа
Безопасность Сигнализация превышения температуры, снижение давления воды
Управление ПК контроль и ПО
Гарантия 12 месяцев

Комплектация

  • базовый блок печи
  • 1 газовая линия для азота с MFC
  • ПК управления, монитор, клавиатура, мышь
  • вакуумная помпа
  • система замкнутого охлаждения
  • фитинги подключения
  • запасная ИК лампа

Кроме модели HTAO500 производитель может изготовить и другие установки с ещё более впечатляющими параметрами: диаметр пластин до 300 мм, максимальная температура 1700 °C, скорость нагрева от 0,1 до 500 °C/сек, до 4-х газовых линий и др.

Наша компания является эксклюзивным дистрибьютором компании Beijing EastStar на территории РФ и стран СНГ. Мы осуществляем подбор, поставку, пусконаладочные и гарантийные работы по всему спектру оборудования, производимого данной фирмой, которая является лидером в Китае в области быстрой термической обработки и имеет широкую клиентскую базу.

Более подробное описание оборудования вы можете посмотреть в нашем каталоге или обратившись по телефону +7 (499) 653-80-83 или отправив запрос по электронной почте.

Смотрите также

Другие новости

Все новости →

Хотите рассчитать стоимость с доставкой?

Пришлём коммерческое предложение с ценой, сроком поставки и вариантами оснастки.

Контакты

Свяжитесь с нами

Адрес

305010, г. Курск, ул. Чапаева, д. 22А

Телефон

+7 (499) 653-80-83

Режим работы

Пн–Пт: 9:00–18:00

Оставить заявку

Ответим на вопросы по подбору и наличию оборудования в течение рабочего дня.