Главная/ Новости/ Новая ступень в технологии атомно-слоевого осаждения
10.09.2021

Новая ступень в технологии атомно-слоевого осаждения

ООО «Термо-Решения» представляет технологии и оборудование для атомно-слоевого осаждения компании «Encapsulix SAS», Франция.

Компания «Термо-Решения» объявляет об открытии нового направления поставок высокотехнологичного оборудования — установки атомно-слоевого осаждения производства «Encapsulix SAS», Франция.

Установка атомно-слоевого осаждения Encapsulix

Оборудование данной компании позволяет наносить различные ультраточные плёнки и слои с высокой скоростью по сравнению с традиционными решениями. Высокие скоростные показатели процессов достигаются за счёт уникальных запатентованных решений подачи реактивов, газов и конструкции рабочей камеры.

Модельный ряд оборудования компании Encapsulix SAS имеет в своём составе как научно-исследовательские системы, так и установки, ориентированные на интеграцию в кластер в крупносерийном производстве.

Области применения оборудования АСО Encapsulix SAS

  • OLED и OLED на кремнии
  • МЭМС и полупроводники
  • Фотовольтаика
  • Оптика
  • Гибкая и печатная электроника
  • High K и TFT

Особенности оборудования

  • Пластины от 100 до 200 мм
  • Отдельно стоящее решение или интеграция в кластер
  • Автоматическое управление и контроль
  • До 5-ти различных прекурсоров и до 5-ти окислителей в одной установке
  • До 20-ти контролируемых температурных зон
  • Ozone, PEALD процессы, в том числе с предварительной плазменной очисткой
  • In-situ метрология, атмосферная камера, скрубберы, прекурсоры (опция)
  • Нагрев до +400°C
  • Высокая скорость осаждения (до 50 Å/мин)

Результаты типовых процессов

Al₂O₃ (TMA + H₂O) ≤900 мсек при +90°C / ≤600 мсек при +125°C, 0,6–0,8 Å за цикл
Al₂O₃ (TMA + O₂ плазма) ≤1500 мсек при +60°C, 1,2–1,8 Å за цикл
TiO₂ (TTIP + H₂O) ≤1200 мсек при +125°C, 0,25–0,35 Å за цикл
SiO₂ (Orthrus + Ar/O₂ плазма) ≤1500 мсек при +80°C, 1,2–1,4 Å за цикл

Более подробную информацию вы можете получить, обратившись по телефону +7 (499) 653-80-83 или отправив запрос по электронной почте.

Смотрите также

Другие новости

Все новости →

Хотите рассчитать стоимость с доставкой?

Пришлём коммерческое предложение с ценой, сроком поставки и вариантами оснастки.

Контакты

Свяжитесь с нами

Адрес

305010, г. Курск, ул. Чапаева, д. 22А

Телефон

+7 (499) 653-80-83

Режим работы

Пн–Пт: 9:00–18:00

Оставить заявку

Ответим на вопросы по подбору и наличию оборудования в течение рабочего дня.