Серия печей RTP продолжает линейку высокотемпературного оборудования UniTemp и обеспечивает возможность выполнения быстрых высокотемпературных процессов, таких как:
•вжигание, в том числе контактов на пластинах,
•сплавыSiAu, SiAl, SiMo,
•low k диэлектрики,
•постимплантационноевжигание,
•вжигание медных паст,
•кристаллизация,
•обработка солнечных панелей,
•вжигание резистивных паст и т.д.
Технические характеристики
Параметр/Модель | RTP-100(RTP-100-HV) | RTP-150(RTP-150-HV/RTP-150-EP) |
Размер рабочей камеры | 134x169х18 мм,макс. диаметр пластин 100 мм или подложки 100х100 мм | 156х156х40 мм,макс. диаметр пластин 150 мм или подложки 150х150 мм |
Материал камеры | Кварц | |
Тип нагрева | 18 шт. ИК ламп,нагрев сверху и снизу, программно выбираемый | 24 шт. ИК ламп, нагрев сверху и снизу, программно выбираемый |
Массовый расходомер | До 4 шт. | |
Тип нагрева | +1200°С | +1000°С |
Точность поддержания температуры | Менее 1,5% | |
Уровень вакуума | До 10-3 мбар (До 10-6 мбар опционально) | |
Скорость нагрева | ˃150 К/сек | ˃75 К/сек (˃150 К/сек опционально) |
Скорость охлаждения | T= 1200°C> 400°C: 200 K/мин, T= 400°C> 100°C: 30 K/мин | T= 1000°C> 400°C: 200 K/мин, T= 400°C> 100°C: 30 K/мин |
Интерфейс | USB | |
Контроллер с сенсорным экраном | Simatic с диагональю 7” с возможностью поворота | |
Количество программ в памяти контроллера | 50 шт. с 50 сегментами в каждой, программирование и мониторинг процесса | |
Рабочие газы | Воздух,Азот,Кислород,Водород,Форминг газ | |
Габаритные размеры | 504x521x576 мм | 505x525x570 мм |
Вес | 55 кг | |
Электропитание | 380 В, 50 Гц, 20 кВт | 380 В, 50 Гц, 21 кВт |
Охлаждение | Вода | |
Опции |
- дополнительные термопары, - дополнительные газовые линии с массовым расходомером, - модуль обработки с водородом, - анализатор влажности и/или кислорода, - графитовая плита, - вакуумная помпа, - чиллер, - кварцевая и графитовая оснастка |
По ссылке ниже вы можете скачать брошюру по вакуумным печам Unitemp в формате *pdf.