Установки серии AWB представляют собой универсальную платформу in-situ совмещения и сращивания пластин от 50 до 200 мм различными методами:
Анодное, Эвтектическое, Прямое (диффузионное), Адгезионное, Пайка, Термокомпрессия, Glass Frit, In-situ химия, Активация радикалов, УФ совмещение и сращивание.
Области применения:
Сращивание и монтаж пластин применяются во многих областях: MEMS, III-Vs and ICs, а установки AML широко используются в:
•Высокоточный адгезионный монтаж - ‘best tool’
•MEMs устройствах – датчики давления, акселерометры, микрофлюидика,
•Вакуумное корпусирование; ‘best system on the market’.
•Корпусирование на уровне пластины – для MEMS & IC
•III-V монтаж – новые типы LEDs
•3D технологии & TSV
•Новые типы материалов; например кремний на стекле,
•Smart cut – перенос стоя.
Основные технические характеристики:
•Точность In-situ совмещения: ±1 мкм
•Пластины от 50 до 200 мм & отдельные кристаллы
•Давление: от 10-6 мбар to 2 бар газа (UHV опция)
•Напряжение: до 2,5 кВ
•Температуры: до +560°C – пластины могут быть при разных температурах
•Контактное усилие: до 40 кН
•In-situ УФ отверждение
•Наименьшее время цикла: быстрый монтаж/производительность
По ссылке ниже вы можете скачать брошюру по вакуумным печам Unitemp в формате *pdf.