X

Новости

Поделиться

С друзьями в соц.сетях

Установки совмещения и сращивания пластин



Установки серии AWB представляют собой универсальную платформу in-situ совмещения и сращивания пластин от 50 до 200 мм различными методами:

Анодное, Эвтектическое, Прямое (диффузионное), Адгезионное, Пайка, Термокомпрессия, Glass Frit, In-situ химия, Активация радикалов, УФ совмещение и сращивание.

Области применения:

Сращивание и монтаж пластин применяются во многих областях: MEMS, III-Vs and ICs, а установки AML широко используются в:


•Высокоточный адгезионный монтаж - ‘best tool’

•MEMs устройствах – датчики давления, акселерометры, микрофлюидика,

•Вакуумное корпусирование; ‘best system on the market’.

•Корпусирование на уровне пластины – для MEMS & IC

•III-V монтаж – новые типы LEDs

•3D технологии & TSV

•Новые типы материалов; например кремний на стекле,

•Smart cut – перенос стоя.

Основные технические характеристики:


•Точность In-situ совмещения: ±1 мкм

•Пластины от 50 до 200 мм & отдельные кристаллы

•Давление: от 10-6 мбар to 2 бар газа (UHV опция)

•Напряжение: до 2,5 кВ

•Температуры: до +560°C – пластины могут быть при разных температурах

•Контактное усилие: до 40 кН

•In-situ УФ отверждение

•Наименьшее время цикла: быстрый монтаж/производительность

По ссылке ниже вы можете скачать брошюру по вакуумным печам Unitemp в формате *pdf.

Брошюра - Установки совмещения и сращивания пластин (AML)