Описание и технические характеристики:
-разделение режущим диском,
-скорость вращения 1000-5000 об/мин,
-размер пластин и подложек 50-160 мм,
-глубина резки 10-500 мкм +/-1 мкм,
-перемещение столика 200х200 мм,
-перемещение диска по Z 80 мм,
-точность позиционирования 1 мкм,
-PLC контроль и программирование параметров,
-сенсорная панель управления,
-подача воды для охлаждения.