Установка предназначена для временного монтажа и демонтажа полупроводниковых пластин на специальный носитель и может быть использована как в лаборатории, так и в рамках мелко и среднесерийного производств. Средняя производительность 15-25 пластин в час (монтаж, демонтаж).
Управление установкой осуществляется с помощью PLC контроллера и сенсорного дисплея.
Максимальный диаметр пластин 300 мм. Переналадка с одного диаметра на другой занимает считанные минуты.
Технология монтажа, демонтажа запатентованная компанией ProTec основана на методе электростатического монтажа/демонтажа пластин с использованием одно и биполярных временных носителей. Модель MCU3000 идеальна для использования с тонкими пластинами с толщиной менее 50 мкм.
Технические характеристики:
-три версии установки 76/100/150 мм, 150/200 мм и 200/300 мм,
-простота процесса монтажа и демонтажа, цикл до 5 секунд,
-программируемые параметры процесса (напряжение, время),
-длительный срок службы сменных носителей, до 1000 циклов,
-отсутствие дополнительных операций и материалов для монтажа и демонтажа пластин,
-доказанное отсутствие повреждения пластин и активных элементов,
-поставляется в комплекте с переносной ручкой-вакуумным манипулятором,
-напряжение процесса до 3 кВ,
-габаритные размеры 621x430x330 мм,
-вес 20 кг,
-электропитание 220В, 50 Гц,
-пневмопитание,
-вакуум.
Области применения установки MCU3000 и технологии временного электростатического монтажа пластин:
-зондовый контроль и тестирование пластин,
-транспортировка пластин,
-шлифовка/полировка/утонение,
-термические процессы, в том числе такие как отжиг.
-обработка солнечных элементов,
-плазмохимическая обработка, в том числе глубокое травление,
-технологии 3D монтажа,
-технологии МЭМС,
-технологии сращивания пластин,
-литография,
-ионная имплантация,
-напыление и другие процессы, где необходим временный держатель пластины и критично использование традиционных методов с применением адгезивов, клеящих пленок и различных агрессивных жидкостей.
Преимущества оборудования и технологии ProTec:
-отсутствие необходимости в дополнительном оборудовании,
-широкое технологическое окно применения временных носителей,
-отсутствие необходимости в использовании расходных материалов (жертвенные пластины, адгезивов, пленки и др.),
-простой и быстрый процесс, одна единица оборудования,
-снижение эксплуатационных затрат и экономия бюджета предприятия.
-безопасный процесс и отсутствие рисков повреждения пластины,
-апробированная технология ведущими производителями пластин и оборудования,
-широкий спектр временных носителей, как стандартных, так и специализированных под нужды Заказчика.
