X

Новости

Поделиться

С друзьями в соц.сетях

Установка скрайбирования и разламывания S-200



Назначение:

Модель S-200 предназначена для скрайбирования пластин диаметром до 200 мм. Гибкая последовательность цикла позволяет очень деликатно обрабатывать пластины из чувствительных материалов, таких GaAs не повреждая кристаллы.

Установка имеет программируемые параметры процесса и вертикальную видеосистему.


Технические характеристики:

•перемещение по Z с настройкой по углу,

•настраиваемое усилие скрайбирования 10-250 гр,

•алмазный инструмент с настройкой по углу и вращению,

•цифровое перекрестие и настройка офсета инструмента,

•точность ±5 мкм,

•диаметр пластин 200 мм,

•моторизованное вращение столика,

•совмещения столика по углу вращения, 90°/программируемое,

•разрешение перемещения XY столика 1 мкм, точность ±5 мкм,

•контроль перемещения с помощью джойстика,

•17” TFT монитор,

•цветная CCD камера высокого разрешения,

•генератор перекрестия,

•LED подсветка,

•пошаговый режим,

•режим скрайбирования по Y 1-100 мм/сек,

•длина скрайбирования программируемая,

•режим повтора,

•задание числа проходов,

•настраиваемая скорость лезвия,

•настраиваемая скорость опускания,

•габаритные размеры 650х700х500 мм, вес 80 кг,

•вакуум 70%,

•пневмопитание 70%,

•электропитание 220В, 50 Гц, 1 кВт.

По ссылке ниже вы можете скачать каталог по оборудованию для монтажа кристаллов, скрайбирования и тестирования в формате *pdf.

Каталог - Оборудования для монтажа кристаллов, скрайбирования и тестирования (JFP)