Назначение:
Модель S-200 предназначена для скрайбирования пластин диаметром до 200 мм. Гибкая последовательность цикла позволяет очень деликатно обрабатывать пластины из чувствительных материалов, таких GaAs не повреждая кристаллы.
Установка имеет программируемые параметры процесса и вертикальную видеосистему.
Технические характеристики:
•перемещение по Z с настройкой по углу,
•настраиваемое усилие скрайбирования 10-250 гр,
•алмазный инструмент с настройкой по углу и вращению,
•цифровое перекрестие и настройка офсета инструмента,
•точность ±5 мкм,
•диаметр пластин 200 мм,
•моторизованное вращение столика,
•совмещения столика по углу вращения, 90°/программируемое,
•разрешение перемещения XY столика 1 мкм, точность ±5 мкм,
•контроль перемещения с помощью джойстика,
•17” TFT монитор,
•цветная CCD камера высокого разрешения,
•генератор перекрестия,
•LED подсветка,
•пошаговый режим,
•режим скрайбирования по Y 1-100 мм/сек,
•длина скрайбирования программируемая,
•режим повтора,
•задание числа проходов,
•настраиваемая скорость лезвия,
•настраиваемая скорость опускания,
•габаритные размеры 650х700х500 мм, вес 80 кг,
•вакуум 70%,
•пневмопитание 70%,
•электропитание 220В, 50 Гц, 1 кВт.
По ссылке ниже вы можете скачать каталог по оборудованию для монтажа кристаллов, скрайбирования и тестирования в формате *pdf.
Каталог - Оборудования для монтажа кристаллов, скрайбирования и тестирования (JFP)