X

Новости

Поделиться

С друзьями в соц.сетях

Установка скрайбирования и разламывания S-100



Назначение:

Установка позволяет производить монтаж кристаллов различными способами и представляет собой полуавтоматическую систему, где захват, перемещение и установка компонентов производятся автоматически по заданной программе, а совмещение кристалла и подложки производится вручную оператором с помощью видеосистемы высокого разрешения.

Установка обеспечивает точность монтажа кристаллов менее 3 мкм. Такая точность достигается применением жесткой рамы, вертикального перемещения монтажной головки и наличием моторизованного основания.

Модель S-100 сочетает в себе функции разделения полупроводниковых пластин и подложек алмазным резцом и их разделение методом разлома. Гибкая последовательность цикла позволяет очень деликатно обрабатывать пластины из чувствительных материалов, таких GaAs не повреждая кристаллы.

В процессе разлома пластин используется майларовая пленка для удержания кристаллов и снижения стресса в результате действия разламывающего лезвия.

Машина имеет ПК управление и программируемые параметры процесса.

Модель S-100 имеет антивибрационную конструкцию, проста и надежна в эксплуатации.


Технические характеристики:

•перемещение по Z с настройкой по углу,

•настраиваемое усилие скрайбирования 3-50 гр,

•алмазный инструмент с настройкой по углу и вращению,

•цифровое перекрестие и настройка офсета инструмента,

•диаметр пластин 76 мм или 100 мм,

•минимальный размер кристалла 200 мкм,

•максимальный размер кристалла 10х10 мм,

•толщина пластин до 100 мкм,

•ручное вращение на 90°,

•настройка вращения при совмещении с помощью микрометра,

•разрешение перемещения XY столика 1 мкм,

•контроль перемещения с помощью джойстика,

•17” TFT монитор,

•цветная CCD камера высокого разрешения,

•генератор перекрестия,

•LED подсветка,

•режим разлома ручной или автоматический,

•разламывающее лезвие снизу пластины,

•пошаговый режим,

•режим скрайбирования по Y 0.1-20 мм/сек,

•длина скрайбирования программируемая,

•режим повтора,

•задание числа проходов,

•настраиваемая скорость лезвия,

•настраиваемая скорость опускания,

•габаритные размеры 450х700х500 мм,

•вакуум 70%,

•пневмопитание 70%,

•электропитание 220В, 50 Гц, 1 кВт,

•вес 80 кг.

Опции:

•рабочие столики,

•инструменты для скрайбирования.

По ссылке ниже вы можете скачать каталог по оборудованию для монтажа кристаллов, скрайбирования и тестирования в формате *pdf.

Каталог - Оборудования для монтажа кристаллов, скрайбирования и тестирования (JFP)