Назначение:
Установка позволяет производить монтаж кристаллов различными способами и представляет собой полуавтоматическую систему, где захват, перемещение и установка компонентов производятся автоматически по заданной программе, а совмещение кристалла и подложки производится вручную оператором с помощью видеосистемы высокого разрешения.
Установка обеспечивает точность монтажа кристаллов менее 3 мкм. Такая точность достигается применением жесткой рамы, вертикального перемещения монтажной головки и наличием моторизованного основания.
Модель S-100 сочетает в себе функции разделения полупроводниковых пластин и подложек алмазным резцом и их разделение методом разлома. Гибкая последовательность цикла позволяет очень деликатно обрабатывать пластины из чувствительных материалов, таких GaAs не повреждая кристаллы.
В процессе разлома пластин используется майларовая пленка для удержания кристаллов и снижения стресса в результате действия разламывающего лезвия.
Машина имеет ПК управление и программируемые параметры процесса.
Модель S-100 имеет антивибрационную конструкцию, проста и надежна в эксплуатации.
Технические характеристики:
•перемещение по Z с настройкой по углу,
•настраиваемое усилие скрайбирования 3-50 гр,
•алмазный инструмент с настройкой по углу и вращению,
•цифровое перекрестие и настройка офсета инструмента,
•диаметр пластин 76 мм или 100 мм,
•минимальный размер кристалла 200 мкм,
•максимальный размер кристалла 10х10 мм,
•толщина пластин до 100 мкм,
•ручное вращение на 90°,
•настройка вращения при совмещении с помощью микрометра,
•разрешение перемещения XY столика 1 мкм,
•контроль перемещения с помощью джойстика,
•17” TFT монитор,
•цветная CCD камера высокого разрешения,
•генератор перекрестия,
•LED подсветка,
•режим разлома ручной или автоматический,
•разламывающее лезвие снизу пластины,
•пошаговый режим,
•режим скрайбирования по Y 0.1-20 мм/сек,
•длина скрайбирования программируемая,
•режим повтора,
•задание числа проходов,
•настраиваемая скорость лезвия,
•настраиваемая скорость опускания,
•габаритные размеры 450х700х500 мм,
•вакуум 70%,
•пневмопитание 70%,
•электропитание 220В, 50 Гц, 1 кВт,
•вес 80 кг.
Опции:
•рабочие столики,
•инструменты для скрайбирования.
По ссылке ниже вы можете скачать каталог по оборудованию для монтажа кристаллов, скрайбирования и тестирования в формате *pdf.
Каталог - Оборудования для монтажа кристаллов, скрайбирования и тестирования (JFP)