X

Новости

Поделиться

С друзьями в соц.сетях

Вакуумные печи оплавления серии RTP



Серия печей RTP продолжает линейку высокотемпературного оборудования UniTemp и обеспечивает возможность выполнения быстрых высокотемпературных процессов, таких как:


•вжигание, в том числе контактов на пластинах,

•сплавыSiAu, SiAl, SiMo,

•low k диэлектрики,

•постимплантационноевжигание,

•вжигание медных паст,

•кристаллизация,

•обработка солнечных панелей,

•вжигание резистивных паст и т.д.

Технические характеристики

Параметр/МодельRTP-100(RTP-100-HV)RTP-150(RTP-150-HV/RTP-150-EP)
Размер рабочей камеры134x169х18 мм,макс. диаметр пластин 100 мм или подложки 100х100 мм156х156х40 мм,макс. диаметр пластин 150 мм или подложки 150х150 мм
Материал камерыКварц
Тип нагрева18 шт. ИК ламп,нагрев сверху и снизу, программно выбираемый24 шт. ИК ламп, нагрев сверху и снизу, программно выбираемый
Массовый расходомерДо 4 шт.
Тип нагрева+1200°С+1000°С
Точность поддержания температурыМенее 1,5%
Уровень вакуумаДо 10-3 мбар (До 10-6 мбар опционально)
Скорость нагрева˃150 К/сек˃75 К/сек (˃150 К/сек опционально)
Скорость охлажденияT= 1200°C> 400°C: 200 K/мин, T= 400°C> 100°C: 30 K/минT= 1000°C> 400°C: 200 K/мин, T= 400°C> 100°C: 30 K/мин
ИнтерфейсUSB
Контроллер с сенсорным экраномSimatic с диагональю 7” с возможностью поворота
Количество программ в памяти контроллера50 шт. с 50 сегментами в каждой, программирование и мониторинг процесса
Рабочие газыВоздух,Азот,Кислород,Водород,Форминг газ
Габаритные размеры504x521x576 мм505x525x570 мм
Вес55 кг
Электропитание380 В, 50 Гц, 20 кВт380 В, 50 Гц, 21 кВт
ОхлаждениеВода
Опции
- дополнительные термопары,

- дополнительные газовые линии с массовым расходомером,

- модуль обработки с водородом,

- анализатор влажности и/или кислорода,

- графитовая плита,

- вакуумная помпа,

- чиллер,

- кварцевая и графитовая оснастка

По ссылке ниже вы можете скачать брошюру по вакуумным печам Unitemp в формате *pdf.

Каталог - Вакуумные печи (Unitemp)